赋能先进制造：FEEJOY发布第三代高纯压力变送器SGP6100
浏览次数：273次 更新时间：2025-12-08 10:16:44
在半导体制造迈向3nm、2nm及更先进节点的今天，工艺腔室内任何细微的参数波动都可能直接影响芯片良率。压力测量作为工艺环境控制的关键环节，其纯净性、稳定性与可靠性，已成为制约先进制程突破的潜在瓶颈。
面对这一挑战，飞卓科技正式推出第三代SGP6100高纯压力变送器。该产品深度融合先进的溅射薄膜技术与超洁净制造理念，致力于为全球半导体设备商与制造厂商提供超越极限的测量解决方案，赋能先进制造迈向更高精度与可靠性。
一、产品定位：为先进制程而生的国产超高纯压力传感器
飞卓SGP6100并非传统传感器的简单升级，而是从技术本源出发，专为应对半导体高纯气体、腐蚀性介质与宽温区工况设计的国产高性能产品。适用于硅片制造、氧化、光刻、气体沉积、干法刻蚀、离子注入等关键制程环节，是保障工艺重复性、提升设备综合效率的核心基础部件。
飞卓SGP6100高纯压力变送器
二、技术代际跨越：为何选择溅射薄膜？
三、符合SEMI标准的全流程制造与检测体系
所有产品在1000级与百级洁净车间中完成组装与测试，确保出厂洁净度与一致性。
➔500m2千级（ISO 6级）洁净车间
◆“千级”意味着每立方米空气中≥0.5μm颗粒≤35,200个，≥5μm颗粒≤2,930个，适用于精密光学元件加工、高端医疗器械组装等中高精度场景。
➔100m² 百级（ISO 5级）洁净车间
◆“百级”意味着每立方米空气中≥0.5μm颗粒≤3,520个，≥5μm颗粒≤293个，适用于半导体晶圆生产、生物医药无菌灌装等高精度场景。
四、性能对标：核心指标比肩国际，颗粒物与密封性领先
五、典型应用场景
1、高纯气体输送系统
保障气体“生命线”无污染、零泄漏
2、真空传输模块
宽量程覆盖，支持大气至真空精密监测
六、核心价值：国产高性能替代的可靠之选
1.自主可控：全国产化技术路径，保障供应链安全
2.良率保障：严格的颗粒物控制与SEMI标准制造，从源头杜绝污染
3.长效稳定：溅射薄膜技术带来更低的温漂与蠕变，降低非计划停机
4.成本优化：长寿命、免维护，显著降低总拥有成本
目前，飞卓SGP6100高纯压力变送器已进入客户验证与导入阶段。我们诚挚邀请业界伙伴垂询合作，共同测试这款为未来而生的产品。
飞卓科技期待与您携手，以卓越测量技术，赋能下一代先进制造。
欢迎垂询，了解更多详情。
标签：半导体制造 芯片
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